ඡායාරූප ප්රතිරෝධක දළ විශ්ලේෂණය
ෆොටෝරෙසිස්ට්, ෆොටෝරෙසිස්ට් ලෙසද හැඳින්වේ, UV ආලෝකය, ඉලෙක්ට්රෝන කදම්භ, අයන කදම්භ, එක්ස් කිරණ හෝ වෙනත් විකිරණවලට නිරාවරණය වන විට ද්රාව්යතාව වෙනස් වන තුනී පටල ද්රව්යයකට යොමු වේ.
එය දුම්මලයක්, ප්රභා ආරම්භකයක්, ද්රාවකයක්, මොනෝමරයක් සහ අනෙකුත් ආකලන වලින් සමන්විත වේ (වගුව 1 බලන්න). ප්රභා ප්රතිරෝධක දුම්මල සහ ප්රභා ආරම්භකය යනු ප්රභා ප්රතිරෝධක ක්රියාකාරිත්වයට බලපාන වැදගත්ම සංරචක වේ. එය ප්රභා ශිලා ලේඛන ක්රියාවලියේදී විඛාදන විරෝධී ආලේපනයක් ලෙස භාවිතා කරයි.
අර්ධ සන්නායක පෘෂ්ඨ සැකසීමේදී, සුදුසු ලෙස තෝරාගත් ෆොටෝරෙසිස්ට් එකක් භාවිතා කිරීමෙන් මතුපිට අපේක්ෂිත රූපය නිර්මාණය කළ හැකිය.
වගුව 1.
| ෆොටෝරෙසිස්ට් අමුද්රව්ය | කාර්ය සාධනය |
| ද්රාවකය | එය ප්රභා ප්රතිරෝධක තරලය සහ වාෂ්පශීලී බවට පත් කරන අතර, ප්රභා ප්රතිරෝධකයේ රසායනික ගුණාංග කෙරෙහි කිසිදු බලපෑමක් ඇති නොකරයි. |
| ඡායාරූප ආරම්භකයා | එය ප්රභාසංවේදක හෝ ප්රභාසංස්ලේෂණ කාරකය ලෙසද හැඳින්වේ, එය ප්රභාසංවේදී ද්රව්යවල ප්රභාසංවේදී සංරචකයකි. එය නිදහස් රැඩිකලුන් හෝ කැටායන බවට දිරාපත් විය හැකි සහ යම් තරංග ආයාමයක පාරජම්බුල කිරණ හෝ දෘශ්ය ආලෝක ශක්තිය අවශෝෂණය කිරීමෙන් පසු මොනෝමර් වල රසායනික හරස් සම්බන්ධක ප්රතික්රියා ආරම්භ කළ හැකි සංයෝග වර්ගයකි. |
| දුම්මල | එය නිෂ්ක්රීය බහු අවයවකයක් වන අතර, ප්රභා ප්රතිරෝධකයක විවිධ ද්රව්ය එකට රඳවා තබා ගැනීමට බන්ධක ලෙස ක්රියා කරයි, ප්රභා ප්රතිරෝධකයට එහි යාන්ත්රික හා රසායනික ගුණාංග ලබා දෙයි. |
| මොනෝමර් | එය ක්රියාකාරී තනුක ලෙසද හැඳින්වේ, බහුඅවයවීකරණය කළ හැකි ක්රියාකාරී කාණ්ඩ අඩංගු කුඩා අණු වන අතර ඉහළ අණුක බර දුම්මල සෑදීමට බහුඅවයවීකරණ ප්රතික්රියා වලට සහභාගී විය හැකි අඩු අණුක බර සංයෝග වේ. |
| ආකලන | එය ප්රභා ප්රතිරෝධකවල නිශ්චිත රසායනික ගුණාංග පාලනය කිරීමට භාවිතා කරයි. |
ඡායාරූප ප්රතිරෝධක ඒවා සාදන රූපය මත පදනම්ව ප්රධාන කාණ්ඩ දෙකකට වර්ගීකරණය කර ඇත: ධනාත්මක සහ සෘණ. ප්රකාශ ප්රතිරෝධක ක්රියාවලියේදී, නිරාවරණයෙන් හා සංවර්ධනයෙන් පසු, ආලේපනයේ නිරාවරණය වූ කොටස් විසුරුවා හරිනු ලබන අතර, නිරාවරණය නොවූ කොටස් ඉතිරි වේ. මෙම ආලේපනය ධනාත්මක ප්රකාශ ප්රතිරෝධකයක් ලෙස සැලකේ. නිරාවරණය නොවූ කොටස් විසුරුවා හරින අතරතුර නිරාවරණය වූ කොටස් පවතී නම්, ආලේපනය සෘණ ප්රකාශ ප්රතිරෝධකයක් ලෙස සැලකේ. නිරාවරණ ආලෝක ප්රභවය සහ විකිරණ ප්රභවය මත පදනම්ව, ප්රකාශ ප්රතිරෝධක තවදුරටත් UV (ධන සහ සෘණ UV ප්රභා ප්රතිරෝධක ඇතුළුව), ගැඹුරු UV (DUV) ප්රභා ප්රතිරෝධක, X-කිරණ ප්රභා ප්රතිරෝධක, ඉලෙක්ට්රෝන කදම්භ ප්රභා ප්රතිරෝධක සහ අයන කදම්භ ප්රභා ප්රතිරෝධක ලෙස වර්ගීකරණය කර ඇත.
ප්රදර්ශන පැනල්, ඒකාබද්ධ පරිපථ සහ විවික්ත අර්ධ සන්නායක උපාංගවල සියුම්-කැටයම් රටා සැකසීමේදී ෆොටෝරෙසිස්ට් ප්රධාන වශයෙන් භාවිතා වේ. ෆොටෝරෙසිස්ට් පිටුපස ඇති නිෂ්පාදන තාක්ෂණය සංකීර්ණ වන අතර, විවිධාකාර නිෂ්පාදන වර්ග සහ පිරිවිතරයන් ඇත. ඉලෙක්ට්රොනික කර්මාන්තයේ ඒකාබද්ධ පරිපථ නිෂ්පාදනය භාවිතා කරන ෆොටෝරෙසිස්ට් සඳහා දැඩි අවශ්යතා පනවයි.
ප්රභාසංස්ලේෂණය කළ හැකි දුම්මල නිෂ්පාදනය සහ සංවර්ධනය පිළිබඳ විශේෂඥතාවක් ඇති වසර 20 ක පළපුරුද්දක් ඇති නිෂ්පාදකයෙකු වන එවර් රේ, වාර්ෂිකව ටොන් 20,000 ක නිෂ්පාදන ධාරිතාවක්, පුළුල් නිෂ්පාදන පෙළක් සහ නිෂ්පාදන අභිරුචිකරණය කිරීමේ හැකියාව ගැන පුරසාරම් දොඩයි. ෆොටෝරෙසිස්ට් හි, එවර් රේ හි ප්රධාන සංරචකය ලෙස දුම්මල 17501 ක් ඇත.
